В Минпромторге заявили о планах создать полигоны для тестирования оборудования для производства микроэлектроники. Один из них собираются разместить на базе МИЭТа.

Такие полигоны начнут создавать в 2024 году, рассказал в интервью РИА Новости замглавы министерства промышленности и торговли Василий Шпак. «Сейчас мы идем по пути тестовых участков на существующих производствах: освобождаем площадь и испытываем оборудование там. Конечно, нужны полноценные полигоны, которые позволяли бы собирать целые куски технологического маршрута, тестировать их и проверять работоспособность установленного оборудования. Мы работаем над этим, департамент станкостроения сейчас готовит соответствующую концепцию. Со следующего года мы создание таких полигонов запустим», — заявил чиновник.

Шпак также уточнил, что речь идет не о строительстве с нуля, а о реконструкции существующих площадей. При этом финальное решение по этому вопросу будет принято во втором квартале 2024 года. «У нас основные площадки, где оборудование производится — это Москва, Зеленоград, Санкт-Петербург и Новосибирск. Там же расположены предприятия, которые производят микроэлектронику и будут потребителями этого оборудования. Понятно, что там и будем создавать полигоны. Возить оборудование через всю страну было бы очень странно», — добавил замминистра. Другие подробности о полигоне в Зеленограде в публикации информагентства не приводятся.

В июле текущего года о совместных планах Минпромторга, Минобрнауки, производителей полупроводников и профильных вузов по организации таких полигонов писал «Коммерсантъ». Проректор МИЭТа Алексей Переверзев тогда рассказал газете, что для организации полигона в Зеленограде планируется реконструкция и техническое перевооружение одного из корпусов вуза. В Минпромторге изданию уточнили, что речь идет о реконструкции завода «Протон», где планируется предусмотреть «инфраструктуру для возможности размещения технологического, научного и контрольно-измерительного оборудования». Источник «Коммерсанта», знакомый с деталями проекта, рассказал тогда, что полигон планируется запустить осенью 2026 года.

По словам Переверзева, полигон станет площадкой для разработки и трансфера базовых технологических процессов на основе нового оборудования и подготовки инженерных и научных кадров совместно с индустриальными и академическими партнерами. Каждая единица оборудования будет иметь цифровой двойник для сокращения цикла разработки и аттестации технологических процессов, а организация виртуальных технологических линий позволит увеличить объемы подготовки специалистов в области электронного машиностроения, процессов и технологий электронной компонентной базы, добавил проректор МИЭТа.

Как рассказали «Коммерсанту» на заводе «Микрон», разработка и экспериментальные запуски оборудования для производства микроэлектроники вне помещений, где идет серийное производство,— стандартная практика: ITRI на Тайване, IBM в США, CEA-Leti во Франции имеют аналогичные чистые комнаты, специализированные для R&D-машиностроителей. «Мы считаем формат правильным и заинтересованы в появлении таких полигонов», — заявили изданию на зеленоградском предприятии.

Сегодня по заказу Минпромторга ряд российских предприятий разрабатывает оборудование для полупроводниковой и радиоэлектронной индустрии. В частности, миллиардные контракты на такие разработки получили «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) и НИИМЭ.