Минпромторг заключил с МИЭТом и Зеленоградским инновационно-технологическим центром (ЗИТЦ) четыре контракта на выполнение опытно-конструкторских работ (ОКР) общей стоимостью более 7 млрд рублей.

Соответствующие контракты опубликованы на портале госзакупок (первый, второй, третий, четвертый). ОКР связаны с созданием технологий и установок для выпуска микросхем с топологией в диапазоне 250–65 нанометров.

Зеленоградскому инновационно-технологическому центру предстоит разработать и изготовить опытные образцы установок лазерного устранения дефектов и контроля координат топологических элементов и критических размеров структур на фотошаблонах для производства интегральных схем с топологическими нормами 90–65 нм. Опытно-конструкторские работы, как следует из тендерных документов, должны быть выполнены до конца 2026 года. Их стоимость составит 2,57 млрд рублей.

МИЭТ, в свою очередь, до конца 2025 года должен разработать технологию проектирования широкой номенклатуры сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем, изготавливаемых на основе гетероэпитаксиальных структур нитрида галлия на подложках кремния с проектными нормами до 250 нм, а также технологию корпусирования высокопроизводительных микросхем в многовыводные полимерные корпуса для кристаллов с количеством контактных площадок до 8 000 штук. За эти ОКР зеленоградскому университету, согласно заключенным контрактам, заплатят более 4,5 млрд рублей.

Как отмечает профильное издание CNews, по современным меркам топологический диапазон 250–65 нм — это «прошлый век», однако произведенная по таким нормам продукция все равно остается «очень востребованной».

Напомним, в 2021 году миллиардные контракты Минпромторга получили два других зеленоградских предприятия — Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) и Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ).