«Микрон» и ЗНТЦ подписали на форуме «Микроэлектроника–2024» соглашение о сотрудничестве в вопросах импортозамещения оборудования.

Об этом говорится в пресс-релизе «Микрона», поступившем в редакцию Инфопортала. Подписи под соглашением на форуме, проходящем в эти дни в научно-технологическом университете «Сириус» в Сочи, 24 сентября поставили гендиректор «Микрона» Гульнара Хасьянова и гендиректор Зеленоградского нанотехнологического центра Анатолий Ковалев. Предметом соглашения является сотрудничество в освоении технологий и производстве в России фотолитографического оборудования с нормами 350–90 нанометров.

Фотолитография — это ключевая операция в микроэлектронике, пояснили в «Микроне», а фотолитограф предназначен для формирования структуры микросхемы на кремниевой пластине, покрытой слоем фоторезиста — полимерного светочувствительного материала. По словам руководителя АО «ЗНТЦ» Анатолия Ковалева, в мире меньше десяти стран, способных произвести фотолитограф, поскольку эта задача «требует мощнейшего научного потенциала». Он также отметил, что фотолитографическое оборудование с топологическими нормами 350–90 нанометров сейчас разрабатывается Зеленоградским нанотехнологическим центром совместно с белорусским ОАО «Планар», а в рамках сотрудничества с «Микроном» планируются совместные исследования, экспериментальные работы и тестирование этого оборудования. Гендиректор «Микрона» Гульнара Хасьянова отметила, что чипы, которые будут выпускаться с помощью данного оборудования, используются в силовой электронике, автоэлектронике и промышленных системах.

Отметим, что об участии в создании линейки литографов — в том числе, в кооперации с белорусским «Планаром» — в конце 2022 года рассказывал тогдашний ректор МИЭТа Владимир Беспалов. В начале 2023 года зеленоградский НИИМЭ выиграл конкурс на госзаказ в 1,14 млрд рублей за разработку и освоение производства литографических материалов для нужд микроэлектронной промышленности.

В мае текущего года заместитель министра промышленности и торговли Василий Шпак сообщил, что первый отечественный литограф уже собран и проходит испытания в составе технологической линейки в Зеленограде.