Зеленоградский нанотехнологический центр в сотрудничестве с «Микроном» и белорусским заводом «Планар» завершил создание фотолитографа, обеспечивающего выпуск чипов размером до 350 нанометров.

Об этом «важном шаге к переходу на собственное производство микроэлектроники и полной технологической независимости государства» сообщил в своем телеграм-канале мэр Москвы Сергей Собянин. На сегодняшний день в мире меньше десяти стран, способных произвести подобный фотолитограф, поскольку эта задача требует большого научного потенциала, подчеркнул градоначальник. Чипы размером до 350 нанометров, которые позволяет выпускать новое оборудование, будут использоваться в силовой электронике, автоэлектронике и промышленных системах.

Отечественная установка существенно отличается от зарубежных аналогов. Впервые в качестве излучения использована не ртутная лампа, а твердотельный лазер — мощный и энергоэффективный, с высокой долговечностью и более узким спектром, рассказали в пресс-службе мэрии. Там отметили, что на разработанный ЗНТЦ фотолитограф уже есть заказчик, и в настоящее время ведется адаптация технологических процессов к особенностям производства конечного потребителя.

Разработка линейки литографов в сотрудничестве с белорусским производителем литографического оборудования «Планар» началась в ЗНТЦ еще в 2022 году. В мае прошлого года ТАСС сообщил, что первый российский литограф с топологическими нормами до 350 нанометров создан и проходит испытания. А в сентябре между ЗНТЦ и «Микроном» было заключено соглашение о сотрудничестве в освоении технологий и производстве в России фотолитографического оборудования с нормами 350–90 нанометров. В этом соглашении ЗНТЦ отвечал за разработку оборудования, а «Микрон» — за постановку технологического процесса и доведения разработки до серийного производства. На сегодняшний день, по сообщению мэрии Москвы, ЗНТЦ продолжает разработку фотолитографа с разрешением 130 нанометров. Завершить ее планируется в 2026 году.

Отметим, что часть экспертов сомневается, можно ли считать разработку ЗНТЦ полностью отечественной из-за участия в проекте белорусского предприятия. В частности, соучредитель Ассоциации производителей компьютеров и периферийного оборудования 26/20 Максим Горшенин в беседе с Mashnews обратил внимание на то, что технология необходимого в производстве литографов «железа» есть только в Белоруссии, что может быть рискованным для российского технологического суверенитета. При этом он признал, что для создания литографа в столь сжатые сроки было логичным обратиться за помощью к Белоруссии, у которой была технология создания необходимого «железа».

Напомним также, что, как стало известно несколько дней назад, Зеленоградский нанотехнологический центр будет выступать в качестве интегратора контрактных производств для иранских дизайн-центров и, в частности, будет производить для них литографическое оборудование.